De oorsprong van het domein gaat terug tot het midden van de 16de eeuw toen de Gentse familie Rijm eigenaar was van de heerlijkheid Bellem. Via Maria-Anna Rijm, enige dochter, erfgename en laatste naamdraagster van de familie Rijm, kwam het domein in bezit van haar echtgenoot Lodewijk-Frans, prins de Montmorency.
In 1808 verkocht prinses Louisa de Montmorency het kasteeldomein aan de Gentse textielbaron Jacob Lieven van Caneghem die het vervallen kasteel liet herbouwen naar de plannen van architect Bruno Renard en kreeg het kasteel zijn huidig neoclassicistisch uitzicht. Het uitgestrekte kasteelpark is aangelegd door de Leuvense tuinarchitect Egidius Rosseels in Engelse landschapsstijl.
De laatste adellijke eigenaar, baron René de Kerchove d'Exaerde, bleef er wonen tot in 1963 om het dan te verkopen aan de Federatie van de zustercongregaties van het bisdom Gent. De Federatie vormde het om tot het religieuze vorming, studie- en bezinningscentrum Mariahove.
In 2017 werd het domein terug gekocht door een erfgenaam van de familie de Kerchove d'Exaerde en nemen de twee laatste zusters afscheid van het Bellemse Kasteel Mariahove. Het kasteel en zijn omgeving zijn sinds 1996 beschermd.